擴散式與泵吸式臭氧檢測儀的檢測原理基本一樣，通過(guò)儀器的傳感器對所要檢測的氣體進(jìn)行檢測，然后通過(guò)電路放大整理轉換成對應的數值顯示在屏幕上。
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　　擴散式與泵吸式區別在于取樣方式不同
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　　擴散式臭氧檢測儀是被檢測區域的臭氧氣體隨著(zhù)空氣的自由流動(dòng)緩慢的將樣氣流入儀表進(jìn)行檢測，需放置在現場(chǎng)。這種方式受檢測環(huán)境的影響，如環(huán)境溫度、濕度、壓強、風(fēng)速等，不適合于壓力較低的氣源。擴散式臭氧檢測儀的優(yōu)點(diǎn)是成本比泵吸式低。
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　　泵吸式臭氧檢測儀是儀器配置了一個(gè)微型抽氣泵，其工作方式是電源帶動(dòng)微型氣泵對待測區域的氣體進(jìn)行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進(jìn)行檢測。泵吸式氣體檢測儀的特點(diǎn)是檢測速度快，對危險的區域（高濃度臭氧區域）可進(jìn)行遠距離測量，維護現場(chǎng)操作人員的安全。適合于臭氧檢測儀不能放置的現場(chǎng)以及對反應速度、壓差等有特殊要求的場(chǎng)合。
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　　微型真空泵是泵吸式氣體檢測儀重要的運轉部件，直接關(guān)系到儀器的壽命和可靠性。泵吸式臭氧檢測儀一般選用小型、微型體積的氣泵。設計時(shí)根據流量、壓力、功率與樣品隔離、無(wú)泄漏、輕巧、低噪音、電磁兼容性、壽命等要求選用氣泵。目前國內的低端微型泵生產(chǎn)廠(chǎng)家很多，低端市場(chǎng)幾乎被國貨占領(lǐng)。而高端微型泵則由進(jìn)口KNF、Thamos、GAST品牌一統天下。
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　　從技術(shù)經(jīng)濟上講，臭氧檢測儀的各部分元件壽命最好能匹配。電化學(xué)特定氣體傳感器的壽命一般是三年至五年。電化學(xué)傳感器的壽命取決于其中電解液的干涸,所以如果長(cháng)時(shí)間不用，將其密封放在較低溫度的環(huán)境中可以延長(cháng)一定的使用壽命。固定式儀器于體積相對較大，傳感器的壽命也較長(cháng)一些